Особенность-ориентированное сканирование (ООС)[1] — метод прецизионного измерения нанотопографии поверхности, а также других её свойств и характеристик на сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ), при котором особенности (объекты) поверхности используются в качестве точек привязки зонда микроскопа. Метод ООС заключается в том, что в ходе последовательных переходов от одной особенности поверхности к расположенной по соседству другой особенности производится измерение относительного расстояния между ними, а также измерение топографии окрестностей этих особенностей — сегментов. Такой подход позволяет просканировать заданную область на поверхности по частям, после чего восстановить целое изображение из полученных фрагментов. Кроме указанного допустимо использование другого названия метода — объектно-ориентированное сканирование.
Литература[]
- ↑ R. V. Lapshin, “Feature-oriented scanning methodology for probe microscopy and nanotechnology”, Nanotechnology, volume 15, issue 9, pages 1135-1151, 2004.